半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
光电器件高性价比公测配建涉重废污水——MVR立即循坏零排该项目
大型项目蓝本
半导体芯片器件高端定制首测好工程,数量150立方米/天,是首位半导体芯片器件首测智能化涉重废气零排好工程。首测关键环节的镀镍、镀铜、引线架构设计清理会引发含镍含铜废气,开发区想要"无尾水外排",产水全部都使用于产线。
饮用水质表现形式与重难点
污废水 以含镍为中心(氧化还原电位10–100毫克/升),伴进样器铜、锌,pH跌涨大(2–12),还有光刻胶剩余的的多量设计物。首测厂训练场地紧,要补救体系占地面积小;零排是因为着浓水可以清运更多,须要本地服务挥发凝结开环。
处置加工制作工艺 自驾路线
局部走"分质回收利用 → 废水处理工艺除杂 → 电学发展除镍 → 滤出 → UF+有级RO → MVR强制性重复蒸发器 → 冷凝剂水中水回用":
含镍线先调pH到10–11,加药系统氢阳极空气氧化钠转换成Ni(OH)₂沉淀物,加个塑炼钠高度收集残留物镍(塑炼镍Ksp比氢阳极空气氧化镍更小,可以将镍压到0.1毫克/升低于);
悠长岁月中满水后经多媒质脱水水+物业保安脱水水后进UF,再进三级RO,产水真接回产线拆洗;
RO浓水(含盐+残留物高价属)进MVR强迫无限配置减压蒸馏器,强迫无限配置能扛高含盐水垢,减压蒸馏器内置在线平台洗,后易堵;
MVR冷却水换回中水回用蓄水池,汽化残液委外填埋或对于垃圾救治,一整块生产车间无气态外排。
根本仪器优越性说明书
MVR强行循坏相比较常用降膜蒸馏掉器,循坏流动速度高、热传递面后易结镍盐/碳酸盐垢,合适首测此种"出水量不算太大但水硬度杂"的的场景;合一化撬装设计构思征占比常用蒸馏掉器塘+多效蒸馏掉器设计小60%上面的;废气侧配建微生物滤池,把的调节池和污泥干化间的废气征集后挥发成CO₂和水,减少首测厂邻近办工区的其它异常的味道匿名举报。
处理使用效果与高效益
满水后镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,相对比较《电镀层环境破坏物排污细则》表三;任何150立米米/天产水工业废水处理于首测产线洁净,换用等量鲜活水;垃圾(蒸馏残液+厌氧颗粒污泥)量比过去的"析出+排污"策略减约70%。对富士康侧,首测新项目的环保准入的卡点刻上通;